Asml onthult nieuwe apparatuur chipproductie

Asml onthulde begin deze week nieuwe machines voor de productie van geavanceerde chips. Het Veldhovense bedrijf presenteert de opvolger van de vorig jaar gelanceerde Twinscan-apparaten.

De nu gepresenteerde Twinscan XT:1400 is een 193 nanometer-scanner die halfgeleiders, in massaproductie, kan vormen met een transistorlijnmaat van 65 nanometer. Huidige geavanceerde chips van bijvoorbeeld Intel en AMD zitten op 90 nanometer. De eerste leveringen van de 1400 worden naar verwachting in december 2004 gedaan.
 
De XT:1400 kan volgens Asml ook dienst doen als pre-productie- ofwel ontwikkelomgeving voor de volgende verkleiningsstap: naar 45 nanometer. Daarnaast verlengt de producent de levensduur van zijn nieuwste model door eind volgend jaar met een aanvullend conversie-pakket te komen. Daarmee is de 1400 om te bouwen van de huidige 'droge' lithografie naar 'onderdompelings-lithografie' (immersion). Deze conversie is volgens Asml in enkele weken uit te voeren en kan bovendien ter plekke, dus in de chipfabriek, worden gedaan.
 
Door de te produceren chipplakken (wafers) letterlijk onder te dompelen in vloeistof kan de nauwkeurigheid van het te etsen transistorpatroon aanmerkelijk verhoogd worden. Dit belooft een verlenging van de 193 nanometer-scantechnologie naar transistormaten van 45 nanometer en kleiner. Alternatieve technologieën, zoals relatief kostbare 157 nanometer-scanners en ultraviolet-etsen, zouden volgens analisten dan veel later pas nodig zijn. Aan de andere kant zou een combinatie van immersion en 157 nanometer transistorlijnen van 32 nanometer mogelijk maken.
 
Analisten van zakenbank ABN Amro voorzien voor dit jaar een afzet van in totaal honderddertig tot honderdveertig chipproductie-machines. Het Amerikaanse onderzoeksbureau Gartner voorspelde eerder deze maand al een groei van 40 procent voor de wereldwijde omzet uit chipproductie-apparatuur. Vorig jaar groeide die omzet al 10 procent om uit te komen op 22,8 miljard dollar.
 
De fabrikanten van machines voor chipproductie merken namelijk de gevolgen van het aantrekken van de chipmarkt. De afzet van halfgeleiders neemt vooralsnog voornamelijk toe door een groei in de markt voor consumentenelektronica, zoals mobiele telefoons en dvd-spelers.
 
Asml heeft volgens Gartner een marktaandeel van minder dan 9,5 procent. Het is derde in de wereldwijde top vijf. Applied Materials is de grootste met 14 procent. Tweede is Tokyo Electron met 9,5 procent. Nikon en Advantest zijn de hekkensluiters.