Ter ere van haar 65e verjaardag heeft de Technische Universiteit Eindhoven (TU/e) twee hightech-apparaten gekregen van chipmachinefabrikant ASML. De apparaten zijn bestemd voor het fonkelnieuwe Eindhoven Hendrik Casimir Institute (EHCI), waarin fotonica en quantumtechnologie worden samengebracht.
De voorloper van TU/e werd opgericht in 1956, als tweede technische universiteit van Nederland na Delft. Dat is dit collegejaar dus 65 jaar geleden. Inmiddels is de onderzoeks- en onderwijsinstelling uitgegroeid tot middelgrote universiteit met meerdere onderzoeksinstituten.
Het nieuwste instituut is het EHCI, dat afgelopen maandag officieel van start ging. Het EHCI is vernoemd naar de Nederlandse natuurkundige Hendrik Casimir (1909-2000), vooral bekend van zijn werk op het gebied van supergeleiding en quantumfysica.
Specialistische machines
Om het nieuwe instituut en het 65-jarig bestaan van de TU/e te eren, doneert ASML twee specialistische machines. Volgens de universiteit is het Veldhovense bedrijf een van de belangrijkste partners van de instelling. Een van de aangeboden apparaten is een ‘critical dimension scanning electron microscope’, ofwel een CD-sem. Hiermee kun je op nanoschaal de afmetingen van lithografisch gemaakte fotonica-elementen controleren. Het tweede betreft een systeem voor ‘direct laser write lithography’. Je kunt ermee micropatronen maken met een ultraprecieze laserstraal.
De universiteit verwacht dat de twee apparaten een belangrijke rol krijgen in het onderzoek naar toekomstige microchip-technologieën. Behalve de twee machines financiert ASML de inrichting van nieuwe studentenlabs en neemt het het onderhoud van de ASML-scanner van de TU/e voor zijn rekening. De totale waarde van de donaties bedraagt ongeveer 3,5 miljoen euro.
