ASML, de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM), de Universiteit van Amsterdam (UvA), de Vrije Universiteit Amsterdam (VU) en de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO) zijn van plan het Instituut voor Nanolithografie (INL) op te richten. Het INL zal fundamenteel en toegepast onderzoek uitvoeren, dat essentieel is voor het ontsluiten van innovatie in de wereldwijde halfgeleiderindustrie. Het instituut zal gevestigd worden op het Science Park Amsterdam.
Het onderzoeksprogramma van het INL zal zich in eerste instantie richten op de fysische en chemische processen die cruciaal zijn voor toekomstige uitbreiding van Extreem Ultraviolet (EUV)-lithografie. Dit is een technologie voor het produceren van computerchips en is onmisbaar voor innovatie in de wereldwijde halfgeleiderindustrie. Naar verwachting zal het instituut belangrijke bijdragen leveren aan halfgeleiderlithografie, de belangrijkste technologie voor het maken van geheugenchips en processors in pc’s, smartphones en tablets. In de beginfase zal het instituut zich richten op de fysica van EUV-licht, infraroodlaserfysica, (oppervlakte)fysica van clusters en radicalen en nanofotochemie.
Honderd miljoen euro
ASML zal meer dan een derde van het jaarlijkse budget van het instituut bijdragen en investeert hiermee ongeveer dertigmiljoen euro over een periode van tien jaar. FOM en NWO zullen 25 miljoen euro bijdragen, verdeeld over tien jaar, en UvA/VU dragen 12,5 miljoen euro bij. De gemeente Amsterdam heeft vijf miljoen euro toegezegd als opstartfinanciering. Het ligt in de lijn der verwachting dat het instituut baat zal hebben bij de stimuleringsmaatregelen van de overheid voor privaat-publieke samenwerking, de TKI-toeslag, en dat het instituut nog 25 miljoen euro kan verwerven via andere financieringsinstrumenten, zoals Europese programma’s. Alles bij elkaar gaat het om een bedrag van honderd miljoen euro voor tien jaar.
Het instituut zal in het derde kwartaal van 2013 van start gaan onder leiding van het FOM-instituut Amolf. Tegen 2015 zal het een onafhankelijk instituut geworden zijn, dat wordt bestuurd door FOM in samenwerking met de UvA en de VU, en dat ongeveer honderd hooggekwalificeerde wetenschappers en ondersteunende werknemers in dienst zal hebben, waaronder hoogleraren, postdocs, oio’s, afstudeerstudenten en technici. Het instituut zal gehuisvest worden op het Science Park Amsterdam en zal nauw samenwerken met de onderwijsprogramma’s van de gezamenlijke wetenschapsfaculteiten van de UvA en de VU. Het nieuwe instituut gaat van start nadat de contractonderhandelingen tussen de partners zijn afgerond.
