De Nederlandse ingenieur Erik Loopstra heeft samen met de Nederlands-Russische natuurkundige Vadim Banine de European Inventor Award Publieksprijs 2018 gewonnen. De twee winnen de award voor hun bijdrage aan het in kaart brengen van de toekomstige productie van computerchips.
De European Inventor Award Publieksprijs is een jaarlijkse uitvindersprijs van het Europees Octrooibureau (EOB) in München. De twee microchipgeleerden kregen de meeste publieksstemmen in de online verkiezing. Er werden duizenden stemmen uitgebracht op een van de vijftien genomineerden.
EUVL bij ASML
Loopstra en Banine werken allebei al ruim twintig jaar bij de Nederlandse chipmachinefabrikant ASML. Het duo ontwikkelde een methode om geometrische patronen op siliciumwafers te etsen. De techniek, die de naam ‘extreme ultraviolet lithography’ (euvl) kreeg, is een nieuwe stap in de productie van microchips. Huidige productiemethoden lopen tegen fysieke en economische limieten aan.
Euvl print met hoogenergetische lasers details op nanoschaal in siliciumwafers. De techniek verscheen in 2017 in de markt en bespaart chipfabrikanten tijd en geld. Hiermee worden innovaties in de elektronica, gezondheid, entertainment, zelfrijdende auto’s, robotica en kunstmatige intelligentie mogelijk. ASML is patenthouder van de euvl-techniek.
‘Met een golflengte die bijna net zo kort is als röntgenfotografie, beelden we functies uit op de chip van slechts 5 nanometer breed, wat nauwelijks 20 siliciumatomen is’, legt Vadim Banine uit. ‘Met deze technologie hebben we de grenzen van de conventionele fysica zo goed als bereikt.’
Profielen
Erik Loopstra is al meer dan vijfentwintig jaar systeemengineer bij ASML en studeerde werktuigbouwkunde aan de Technische Universiteit Delft. Momenteel werkt Loopstra aan de volgende generatie optische systemen voor EUVL bij ASML-leverancier Zeiss in Duitsland.
Natuurkundige Vadim Banine deed twee jaar postdoctoraal onderzoek aan de Technische Universiteit Eindhoven (TU/e), waar hij ook promoveerde. In 1996 ging hij bij ASML werken. Sindsdien past hij zijn wetenschappelijke inzichten toe op het realiseren van technologische doorbraken in euvl.
Patenthouder ASML is een wereldwijde producent van lithografiesystemen met een geschat marktaandeel van 85 procent over het afgelopen jaar in termen van inkomsten. In 2017 bood het bedrijf werkgelegenheid aan zo’n 19.200 mensen wereldwijd, waarvan er alleen al meer dan vierduizend werkten aan de euvl-technologie.
