Als de overname van Silicon Valley Group uit San Jose, Californië, door ASM Lithography doorgaat, plaatst het Veldhovense bedrijf zich in de top drie van machineleveranciers voor de halfgeleiderindustrie. De gezamenlijke omzet van SVG en ASML was vorig jaar 1844 miljoen dollar. De enige Nederlandse speler in de top-10 moet nu alleen Applied Materials (5457 miljard dollar omzet in 1999) en Tokyo Electron Ltd. (2634 miljard dollar) nog voor zich dulden.
SVG was de laatste maanden de lieveling van de Amerikaanse elektronicapers. Dat de VS een ondergeschikte rol speelt in de sleuteltechnologie voor chipproductie heeft de Amerikanen nooit lekker gezeten. Vandaar dat er al snel gejuich opstijgt bij de geringste overwinning van SVG. Deze zomer kreeg het bedrijf een order voor de levering van meerdere waferscanners van Cypress, een chipfabrikant die sinds 1986 in Veldhoven shopt. De bestelde machines kunnen patronen afbeelden van 0,15 micron tot 0,13 micron in de fotolak op silicium plakken af door middel van een scanbeweging met licht uit een argonfluoride laser (golflengte 193 nanometer ofwel 0,193 micron). ASML heeft deze machines ook op stapel staan.
Tijdens de halfjaarcijfers reageerde ASML’s management nuchter op de berichten. "Wij konden niet leveren, omdat we door onze /900-lenzen heen waren", zei financiële man Peter Wennink. ASML besloot daarom grote klanten voorrang te verlenen.
Intel
Analist Dan Hutcheson van VLSI Research in San Jose wijst op SVG’s toegang tot Intel. Een goede relatie met ’s werelds grootste chipfabrikant is van grote waarde. Intel alleen is al goed voor de afname van 20 procent van alle steppers en scanners. Dit jaar zal Intel 7 miljard dollar besteden aan chipfabricage. Silicon Valley Group heeft nauwe banden met Intel. Vorig jaar mei stak ’s werelds grootste chipfabrikant nog 15 miljoen dollar in SVG voor de ontwikkeling van 157 nm-lithografie en verhoogde daarmee zijn aandeel tot 4,7 procent. SVG kreeg vorig jaar van Intel al een order van 100 miljoen dollar voor de levering van 193 nm Micrascan-V systemen. SVG is ook in de race met Nikon voor de levering van 193 nm-scanners voor 0,13 micron-procestechnologie aan Intel. De winnaar zal met een eventuele order goede zaken kunnen doen, want Intel hanteert de ‘copy exact’-strategie. Daarbij voert het zijn fabrieken tot op het laatste schroefje hetzelfde uit.
Met de acquisitie van SVG is ASML niet langer een puur lithografie-bedrijf. Het Veldhovense bedrijf haalt met de overname wafertrack-kennis in huis (wafertracks brengen fotolak op silicium plakken aan). Ook levert SVG ovens voor de depositie van oxides en andere dunne lagen. SVG heeft slechts 3 procent van de markt voor wafertracks. Echter, ASML houdt vast aan zowel de track-business als de ovens.
Op speculaties wil ASML niet ingaan, maar het is duidelijk dat er voor de toekomst interessante opties op tafel liggen. ASML heeft als derde grootste speler voldoende massa om te investeren in een voortgezette ontwikkeling van tracks en ovens. Betere integratie van wafertracks met steppers en scanners is een voor de hand liggende ontwikkeling. In oventechnologie zou ASML een nieuwe business kunnen opbouwen. Dat zou het bedrijf tegenover zijn vroegere moeder ASM International in Bilthoven plaatsen.
Snel gejuich bij de geringste overwinning
Vorige maand was het weer prijs: de Taiwanese chipfabrikant TSMC ging een scanner evalueren met een laserbron voor 157 nm-licht. Volgens de huidige inzichten zullen 157 nm-machines gebruikt gaan worden voor chips met details van 100 nm (0,10 micron, state of the art is 0,18 micron). Massaproductie in 0,1 micron wordt in 2005 verwacht. Optimisten denken dat 0,1 micron scanners in 2008 zelfs patronen van 70 nm (200 atomen op een rijtje) gaan afbeelden. ASML verwacht dat er nog veel rek zit in optische technieken voordat zogenaamde nieuwe-generatie machines patronen met behulp van elektronen of extreem ultraviolet licht het roer overnemen. Inmiddels is duidelijk dat ASML in zijn optische technologie een ommezwaai maakt richting zogenaamde catadioptrische optiek. Dit is een optisch systeem dat uit een combinatie van holle spiegels en lenzen bestaat. Terwijl SVG al langer catadioptrische optiek gebruikt heeft ASML altijd vertrouwd op lenzen. Spiegels zijn zeer moeilijk te stabiliseren (het beeld trilt bij het minste of geringste). Maar bij 157 nm licht komt men er bijna niet onderuit, want voor de zeer kleine details is licht nodig met een zeer nauwkeurig gedefinieerde golflengte. Het lenzensysteem zou een kleurcorrectie moeten uitvoeren die met licht uit een 157 nm-laser niet is uit te voeren, omdat er verschillende lensmaterialen nodig zouden zijn. Alleen het peperdure calciumfluoride is nog transparant voor 157 nm-straling. Ook partner Zeiss heeft veel kennis van holle spiegels, maar SVG heeft de ervaring om daarmee commerciële spiegelsystemen te maken.
