Intel koopt niet de volgende generatie van de lithografie-apparatuur waarmee het zijn chips produceert. Dit laat de chipproducent weten aan zijn lithografie-toeleveranciers, waaronder het Veldhovense Asml. Intel is de grootste klant van het bedrijf.
Intel wil de levensduur verlengen van zijn huidige wafersteppers, die chipplakken (wafers) etsen met lichtgolflengtes van 193 nanometer. De aanstaande volgende generatie werkt op 157 nanometer. Daarna volgt een overstap naar apparatuur die extreem ultraviolet licht gebruikt om de meer dan microscopisch kleine circuits op halfgeleiders te etsen.
Pentium-producent Intel wil in één keer over naar die EUV-apparatuur (Extreme Ultra-Violet), waarmee in een vacuüm een lichtgolflengte van 13,5 nanometer wordt gebruikt. Het vacuüm is nodig omdat de lichtgolflengte dermate laag is dat gassen, waaronder zuurstof, het licht niet meer doorlaten. Dit verandert het complete ontwerp van de chipproductie-machines.
Het probleem is dat deze geavanceerde apparatuur nog enkele jaren op zich laat wachten. De machines voorlopig nog in ontwikkeling. Asml werkt samen met Philips en TNO aan EUV. Intel investeert zelf ook veel in EUV. Het werkt hiervoor samen met hofleverancier Asml, maar ook met diens concurrenten Nikon en Canon.
Klein, kleiner
Intel kondigt nu aan dat het met zijn in gebruik zijnde 193 nanometer-apparatuur op termijn transistorlijnen van 45 nanometer wil etsen. De huidige Pentium 4-processoren, met de Northwood-kern, zijn voorzien van 130 nanometer-lijnen (0,13 micron). Met de komst van de Prescott-kern gaat Intel over naar 90 nanometer. Pentium-chips op basis van Prescott komen in de tweede helft van dit jaar op de markt.
Volgens de planning moeten transistorlijnen van 45 nanometer in 2007 geproduceerd worden. Lithografie-machines van de volgende generatie worden normaliter ver van tevoren aangeschaft om nieuwe, geavanceerde productieprocessen te testen en te verfijnen. Intels uitstel van de aanschaf van wafersteppers loopt dus waarschijnlijk niet tot 2007, maar het is nog onbekend wanneer EUV-machines op de markt komen.
Meer schapen?
Asml verklaart op de hoogte te zijn van Intels beslissing, maar verwacht dat andere chipproducenten wel 157 nanometer-machines zullen aanschaffen. Het heeft vorige maand al apparatuur van die volgende generatie verkocht aan het Europese onderzoekscentrum Imec (Interuniversities Micro Electronic Center).
De lithografie-toeleverancier is dus niet bang dat er meer schapen over de dam gaan. Toch is dit een reëel gevaar. Aan de andere kant is er het voordeel dat de nieuwe 157 nanometer-apparatuur niet direct, tegen relatief lage marges, in de markt wordt gezet. Producenten als Asml kunnen de machines in afwachting van EUV verfijnen om ze dan met hogere marges, of zelfs duurder, te verkopen.< BR>
