Aartsrivalen Intel, AMD en Motorola sluiten een monsterverbond om vaart te zetten achter de ontwikkeling van chipproductiemethodes met extreem ultraviolet licht.
De belangrijkste drie fabrikanten van microprocessoren voor bureaucomputers steken de komende drie jaar 250 miljoen dollar in onderzoek bij de Amerikaanse defensielaboratoria. Lawrence Livermore National Laboratory, Sandia National Laboratories en Lawrence Berkeley National Laboratory zullen technieken ontwikkelen voor de productie van chips met dimensies kleiner dan 0,1 micron, duizend keer dunner dan een mensenhaar. De eerste 0,25 micron-productielijnen staan op het punt om te starten. Volgens het optimistische toekomstscenario van de Amerikaanse Semiconductor Industry Association (SIA) komen chips met 0,1 micron-details in 2006 in productie.
Het onderzoek richt zich op lithografische systemen die met behulp van zachte röntgenstralen ofwel extreem ultraviolet (EUV) licht de microscopische structuren op het silicium afbeelden. Deze stralen moeten met spiegels in plaats van glazen lenzen geprojecteerd worden. Deze techniek onderzoeken de drie laboratoria al langer. In 2007 moeten fabrieken met EUV-apparatuur de eerste chips met miljarden transistoren kunnen aanmaken.
Intel is de grote gangmaker achter het consortium, Extreme Ultraviolet Limited Liability Company (EUV LLC) genaamd. Intels bedrijfsmodel is gebaseerd op steeds snellere chips. Het besteedt dit jaar 2,8 miljard dollar aan onderzoek naar chipproductie en -ontwerp; de noodlijdende defensielaboratoria krijgen slechts een fractie van het onderzoeksbudget.
Het initiatief heeft een vooral politieke reden. Intel wil invloed hebben op de toekomstige ontwikkeling van productie-apparatuur. De huidige optische lithografie loopt ooit ten einde. De halfgeleiderindustrie moet een opvolger voor deze succesvolle techniek te kiezen. De Amerikaanse chipfabrikanten, die zich hebben vertegenwoordigd in Sematech (Semiconductor Manufacturing Technology), komen in november bij elkaar om het daarover eens te worden. Door de investeringen in één van de EUV-technologieën, harde röntgenstralen, elektronenbundels of ionenbundels te concentreren, wil Sematech de ontwikkeling vaart geven. Intel staat al langer bekend als groot voorstander van EUV.
