ASM Lithography (Asml) heeft met Micro Unity Systems overeenstemming bereikt over de overname van Mask Tools. Een koopprijs is niet bekendgemaakt.
Mask Tools is ontwikkelaar en houder van de rechten op opc (optical proximity correction), een techniek die bruikbaar is bij de productie van de wafersteppers van Asml.
"Nieuwe lithografische systemen vereisen een resolutie lager dan de golflengte van licht. De technologie van Mask Tools is van essentieel belang om deze systemen in een productie-omgeving te laten functioneren", aldus Doug Marsh, vice-president van de Amerikaanse ontwikkelafdeling van Asml.
Bij Mask Tools, geleid door Roger Caldwell, werken tien mensen. Caldwell zal vice president Operaties worden bij Asml Mask Tools, het nieuwe bedrijf in Silicon Valley waarin de acquisitie wordt ondergebracht. De overname moet binnen enkele maanden zijn afgerond.
