De stemming op de chipmarkt kan niet stuk. Nadat de Amerikaanse organisatie Semiconductor Equipment and Materials International (Semi) bekendmaakte dat groeicijfers van apparatuurfabrikanten de afgelopen vier jaar onovertroffen goed waren, stegen de beurskoersen flink. Ook de Nederlandse fabrikanten Asml, Asmi en Besi plukken hun vruchten van de groei.
Voor elke drie machines die Amerikaanse leveranciers in januari hebben afgeleverd, kregen zij vier nieuwe orders binnen. Dat komt in Semi’s book-to-bill index neer op 1,34. Het dieptepunt lag in augustus en september 1998 met een index van 0,57.
Ook de huidige beurskampioen ASM International (Asmi) uit Bilthoven stond anderhalf jaar geleden nog met één been in het graf. De toeleverancier van de chipindustrie schikte een conflict met concurrent Applied Materials voor 80 miljoen dollar, meer dan alle winsten die Asmi in de jaren daarvoor haalde. Daarbovenop daalde het vertrouwen van beleggers als gevolg van de Azië-crisis – Asmi heeft veel klanten in Korea en Taiwan. Op het dieptepunt bracht een aandeel Asmi amper 2 euro op. Het kan verkeren. Nu moeten beleggers voor hetzelfde aandeel 35 euro neertellen. Daarmee is Asmi het best presterende beursfonds van het jaar.
Grote hoogten
Aanhoudende berichten van betere tijden in chips hebben ook de aandelen van Asml uit Veldhoven en BE Semiconductors ‘Besi’ uit Drunen tot grote hoogten opgestuwd. Asml en Asmi verkopen machines die van strategische waarde zijn voor chipproducenten. Besi richt zich op het ‘back-end’ assembleren: machines die de silicium tegeltjes met tere structuren verpakken om ze uiteindelijk op printplaten te kunnen solderen. Meer chips betekent meer verpakken. Besi rekent grote namen als Infineon (voorheen Siemens Halfgeleiders), Philips, Motorola, Samsung en Hyundai tot zijn klanten.
Maar ook in technologisch opzicht hebben Asml en Asmi een gezonde basis. Asml’s wafersteppers zijn de belangrijkste machines in een chipfabriek. Ze kosten al snel 8 miljoen dollar per stuk, dus is het zaak hiermee per tijdseenheid zoveel mogelijk chippatronen te belichten. Al jaren kunnen chipfabrikanten met Asml’s wafersteppers 20 tot 30 procent meer chips maken dan met vergelijkbare machines van Canon of Nikon. In 1998 passeerde Asml zijn rivaal Canon en is nu na Nikon de tweede grootste fabrikant van wafersteppers met een marktaandeel van 37 procent. In de VS en in Azië is Asml marktleider. Volgens marktonderzoeker Vlsi Research groeide de omzet van Asml vorig jaar met 47 procent, tegenover 11 procent voor Nikon en -2 procent voor Canon.
Ook voor het nieuwe formaat silicium plakken van 300 mm verwacht Asml een hoge doorvoersnelheid te kunnen halen. Op deze wafers kunnen ruim twee maal zoveel chips. Vice-president marketing Evert Polak verwacht dat de doorvoer van 300 mm wafersteppers op den duur ‘royaal boven de honderd wafers per uur’ zal liggen.
Optische lithografie
Daarnaast zijn er steeds meer positieve berichten over de reikwijdte van optische lithografie. De kortste golflengte waarmee lithografie met lenzen en fotonen nog mogelijk is – 157 nanometer laserlicht – lijkt nu haalbaar. Asml verwacht daarvoor in 2003 een prototype waferstepper te hebben. Met deze lithografische machine, waarvan alleen al de lenzenkolom zo’n 30 miljoen zal kosten, verwacht Asml straks details af te beelden van 0,07 micrometer en kleiner. Zelfs structuren onder de 0,05 micron zijn wellicht mogelijk en daarmee is deze vorm van chips produceren nog zeker tien jaar te gebruiken.
Procesintegratie
Ook Asmi heeft intussen een stevige technologische basis. Het bedrijf sloot vorig jaar een samenwerking met Semitool uit Kalispell, Montana, om procesmodules te ontwikkelen voor het aanleggen van koper-interconnecties op chips. Asmi en Semitool kunnen nu een ‘proceseiland’ aanbieden waarin alle stappen in het proces voor kopermetallisatie (koper en isolatiematerialen) in een chipfabriek zijn verenigd. Alle grote chipfabrikanten hebben introductie van koper voor de komende jaren op de planning staan.
Procesintegratie is belangrijk in een tijd waarin chipfabrikanten verwachten dat apparaten van leveranciers naadloos zijn geïntegreerd. Semitool is zwak in marketing, maar sterk in technologie. Het bedrijf was een van de eerste die zijn kopertechnologie in samenwerking met IBM tot een succes maakte. Big Blue was lange tijd het enige bedrijf dat chips met snellere koperen bedradingen kon produceren. Volgens Dan Hutcheson van Vlsi Research brengt de overeenkomst met Asmi weer de nodige agressie in marketing.
Atoomlaag
Daarnaast nam Asmi vorig jaar Microchemistry over. Dit Finse bedrijf beschikt over een chemisch proces waarmee materialen atoomlaag voor atoomlaag zijn op te brengen. De technologie is vooral geschikt om zeer dunne films aan te brengen. Hij komt van pas voor het aanleggen van entlagen om de kopermetallisatie in gang te zetten of om zeer dunne isolatielagen te maken voor geheugenchips. De techniek is van groot belang in een industrie met een grote behoefte aan materiaalprocessen met atomaire precisie. Verschillende chipfabrikanten hebben kenbaar gemaakt met prototype machines van Asmi’s atoomlaagproces te willen experimenteren.
