ASM Lithography heeft de eerste order voor zijn nieuwste systemen voor 300 mm siliciumplakken ontvangen. Het Veldhovense bedrijf demonstreerde de machine afgelopen week op de beurs Semicon West in San Francisco.
De overstap van 200 mm naar 300 mm siliciumschijven biedt, samen met scanner-technologie, ruimte om de productiesnelheid te verhogen.
Asml kan de belichtingsmachines voor chips niet aangesleept krijgen. De laatste maanden berichtten chipfabrikanten dat hun geavanceerdste processen voor 99 procent bezet zijn. Chips zitten in de lift, chipbakkers bouwen in allerijl nieuwe fabrieken en de vraag naar productiemachines explodeert. "Achttien maanden levertijd voor de topmachines uit onze selectie is geen uitzondering", zegt Evert Polak, vice president strategie bij Asml.
Asml’s wafersteppers spelen een centrale rol in chipfabrieken. De hele economie van de IC-productie is erop afgestemd. Het stap voor stap belichten van het silicium om de fijne patronen af te beelden is een relatief traag proces; andere machines als ovens of etsers bewerken vaak honderden schijven tegelijk. Steppers kosten bovendien snel acht miljoen dollar per stuk. Daarom zijn belichtingsmachines met de hoogste doorvoer populair. De groei van Asml’s marktaandeel het afgelopen decennium is hieraan vooral te danken geweest. De machines belichten per uur 20 tot 30 procent meer silicium-oppervlak dan apparaten van de belangrijkste concurrenten Canon of Nikon.
In 1998 passeerde Asml zijn Japanse rivaal Canon. Afgelopen jaar had het een marktaandeel van 35 procent. Het Japanse Nikon is nog steeds de grootste speler met 37 procent. Het beeld is scheef doordat Asml nog geen voet aan de grond heeft gekregen in Japan, waar de relatie tussen Canon en Nikon en giganten als NEC, Toshiba en Hitachi sterk verweven is. In de VS, Europa en Azië speelt dit niet; daar is Asml marktleider. Wel spelen hier andere gevoeligheden. De onderneming is bijvoorbeeld hofleverancier van AMD, terwijl Intel kiest voor de Japanners en het Amerikaanse Silicon Valley Group Lithography.
Volgens de Amerikaanse marktonderzoeker Vlsi Research groeide de omzet van Asml vorig jaar met 47 procent, tegenover 11 procent voor Nikon, en een daling van 2 procent voor Canon. De chipeconomie van Korea, Singapore en vooral Taiwan is gebouwd op belichtingsmachines uit Nederland. Asml’s Taiwanese klant Tsmc investeert dit jaar 4,7 miljard dollar in nieuwe chipfabricage. Alleen Intel investeert dit jaar meer: zes miljard dollar.
Doorvoer blijft een van Asml’s topprioriteiten. De nieuwste innovatie heet scannen. Daarbij belicht de machine de fotolak op een siliciumplak met een spleet licht door middel van een scan-beweging. Het origineel (masker) beweegt tegelijk met het beeld (silicium) door de lichtbundel. Een scanner doet weliswaar minder belichtingsvelden per uur, maar per scan is het oppervlak 70 procent groter dan dat van een stepper (die het silicium in één keer in een flits belicht). In een gescand veld passen soms tientallen chips. Daardoor is de doorvoer hoger. Doordat een scanner slechts een dunne spleet licht projecteert, is bovendien de resolutie beter. De nieuwe joint-venture fabriek Ssmc van Philips en Tsmc in Singapore wordt dit jaar volledig uitgerust met scanners van Asml.
