ASM Lithography heeft de eerste order voor zijn nieuwste systemen voor 300 millimeter-silicium plakken ontvangen. Het Veldhovense bedrijf demonstreert de gloednieuwe machine deze week op de beurs Semicon West in San Francisco. De overstap van silicium schijven zo groot als gebaksbordjes (200 mm) naar formaat langspeelplaat (300 mm) biedt, samen met scanner-technologie, ruimte om de productiesnelheid te verhogen.
Asml kan de belichtingsmachines voor chips niet aangesleept krijgen. De laatste maanden berichtten chipfabrikanten dat hun meest geavanceerde processen voor 99 procent bezet zijn. Chips zitten in de lift, chipbakkers bouwen in allerijl nieuwe fabrieken en de vraag naar productiemachines explodeert. "Achttien maanden levertijd voor de topmachines uit onze selectie is geen uitzondering", zegt Evert Polak, vice president strategie bij Asml in Veldhoven.
Centrale rol
De wafersteppers die Asml maakt spelen een centrale rol in chipfabrieken. De hele economie van de ic-productie is erop afgestemd. Het stap voor stap belichten van het silicium om de fijne patronen af te beelden is een relatief traag proces; andere machines als ovens of etsers bewerken vaak honderden schijven tegelijk. Steppers kosten bovendien snel 8 miljoen dollar per stuk. Niet voor niets zijn belichtingsmachines met de hoogste doorvoer populair. De groei van Asml’s marktaandeel het afgelopen decennium is hieraan vooral te danken geweest. De machines uit Veldhoven belichten per uur 20 tot 30 procent meer silicium-oppervlak dan apparaten van de belangrijkste concurrenten Canon of Nikon.
In 1998 passeerde Asml zijn Japanse rivaal Canon. Afgelopen jaar had het Nederlandse bedrijf een marktaandeel van 35 procent. Het Japanse Nikon is nog steeds de grootste speler met 37 procent. Het beeld is scheef doordat Asml nog geen voet aan de grond heeft gekregen in Japan – waar de relatie tussen Canon en Nikon en giganten als NEC, Toshiba en Hitachi sterk verweven is. In de VS, Europa en Azië speelt dit niet; daar is Asml marktleider. Maar hier spelen weer andere gevoeligheden. Zo is de onderneming hofleverancier van AMD, waar Intel kiest voor machines van Japanse fabrikanten en het Amerikaanse Silicon Valley Group Lithography.
In de lift
Maar het Veldhovense bedrijf zit onmiskenbaar in de lift. Volgens marktonderzoeker Vlsi Research uit San Jose, Californië, groeide de omzet van Asml vorig jaar met 47 procent, tegenover 11 procent voor Nikon en moet Canon genoegen nemen met een daling van 2 procent. De chipeconomie van de Aziatische tijgers Korea, Singapore en vooral Taiwan is gebouwd op belichtingsmachines uit Nederland. Asml’s Taiwanese klant Tsmc zal dit jaar 4,7 miljard dollar investeren in nieuwe chipfabricage. Alleen Intel gooit dit jaar met meer geld (6 miljard dollar).
Vlsi Research geldt als het best geïnformeerde bureau als het om machines voor chipproductie gaat. Deze week publiceerde het een onderzoek waarin managers en beslissers uit de chipindustrie naar hun mening werd gevraagd over apparatuurleveranciers. Er werd op acht categorieën beoordeeld, waaronder de prestatie van de apparatuur, kwaliteit, service, technisch leiderschap en after-sales. Asml stond in de lijst van apparaten voor waferprocessen met 8,3 punten op de tweede plaats na het Amerikaanse Varian Semiconductor (8,7). Canon en Nikon stonden respectievelijk op de vijfde (7,5 punten) en zevende (7,4 punten) plaats.
Tevredenheid van klanten moet in deze business niet worden onderschat. Wafersteppers vallen soms een paar keer per week uit en elk uur gemiste productie kost een chipfabrikant tienduizenden guldens. Machinefabrikanten hebben meestal een speciale eigen ploeg troubleshooters gelocaliseerd.
Scannen
Doorvoer blijft een van Asml’s topprioriteiten. De nieuwste innovatie heet scannen. Daarbij belicht de machine de fotolak op een silicium plak met een spleet licht door middel van een scan-beweging. Het origineel (masker) beweegt tegelijk met het beeld (silicium) door de lichtbundel – net zoals bij een goedkoop kopieerapparaat de glasplaat en het papier tegelijkertijd bewegen. De synchronisatie in een scanner gaat echter met nanometers nauwkeurig.
Een scanner doet weliswaar minder belichtingsvelden per uur, maar per scan is het oppervlak 70 procent groter dan van een stepper (die het silicium in één keer in een flits belicht). In een gescand veld passen soms tientallen chips en daardoor is de doorvoer hoger. Doordat een scanner slechts een dunne spleet licht projecteert, is bovendien de resolutie beter. De nieuwe joint-venture fabriek Ssmc van Philips en Tsmc in Singapore zal dit jaar volledig worden uitgerust met scanners van Asml.
Topman Doug Dunn zei begin dit jaar in Computable dat Asml’s toekomstige product-portfolio helemaal open ligt. Dunn zei ’twee of drie nieuwe aandachtsgebieden’ te willen identificeren. Asml maakt al machines voor leeskoppen voor harde schijven en galliumarseen chips. Ook kijken de specialisten uit Veldhoven naar productiemachines voor lcd-schermen en DNA-chips. "Ik suggereer niet dat daar een markt is voor ons, maar naar al die dingen zullen we de komende maanden zeker kijken", zei Dunn. Gevraagd naar de status hiervan zegt strategie-directeur Polak: "Er zijn nog geen conclusies getrokken. Het ligt nog helemaal open."
