Asml heeft een samenwerkingsovereenkomst gesloten met Albany Nanotech op het gebied van onderzoek en ontwikkeling. Financiële details zijn niet bekendgemaakt.
De samenwerking betreft Asml's zogeheten 'immersion lithography'. De markt voor deze technologie wordtdoor analisten in 2005 ingeschat op een omvang van 230 miljoen dollar. Nu is deze nog nihil.
Volgens de immersion-technologie wordt de lucht tussen siliconenwafers en lenzen vervangen door vloeistof. Dit verbetert de diepte en focus van het lithografieproces. Hierdoor kunnen kleinere chips worden gefabriceerd.
