IBM voert de productie van zijn eerste koperchips op met behulp van het nieuwe Sabre-systeem van het Amerikaanse Novellus Systems. Dit apparaat verzorgt het elektrolytisch verzilveren van de processoren. IBM Microelectronics en Novellus werken al twee jaar in alle stilte samen aan de ontwikkeling van apparatuur voor dit proces.
Dit onthulden de koper-partners vorige week bij de opening van de Semicon West-halfgeleiderconferentie in San Francisco. Verder hebben de twee een overeenkomst voor het produceren van geïntegreerde circuits met koper-verbindingen tussen de transistoren. IBM gebruikt het Sabre-systeem van Novellus nu om koperchips te maken op basis van een productieproces onder de 0,25 micron. In ruil daarvoor verstrekt de computerfirma een licentie voor zijn koper-electrolysetechnologie. Novellus heeft dit opgenomen in Damascus Complete Copper, een koperchip-productiepakket voor fabrieken.
Licentie-overweging
Volgens Novellus biedt zijn apparatuur de mogelijkheid om meer dan vijftig siliciumwafels per uur te produceren met een foutmarge van maximaal 10 procent. De onthulling van de samenwerking met IBM houdt in dat de fabricageleverancier zijn producten openlijk kan verkopen aan andere chipfabrikanten. Overigens overweegt de Microelectronics-divisie van IBM zijn kopertechnologie ook aan andere fabrikanten in licentie te geven. JB
