BLOG – ASM International is niet het type bedrijf dat voorbijkomt in de kwartaalcijfers van Nvidia of TSMC. Toch speelt deze Nederlandse multinational een sleutelrol in de race naar steeds kleinere, snellere en efficiëntere chips: halfgeleiderproductie waar laagjes atoom voor atoom worden neergelegd.
Genoemde procedé heet atomic layer deposition – in de industrie kortweg ALD genoemd – en is wat ASMI groot maakte. En in het tijdperk dat eraan komt, het Angstrom-tijdperk, wordt die precisie geen luxe, maar noodzaak.
Chips hebben altijd hun grenzen verlegd door kleiner en complexer te worden. De FinFET-architectuur, die ruim een decennium dienstdeed, is nu technisch aan het eind van zijn Latijn. De nieuwe ster aan het firmament heet Gate-All-Around (GAA), een transistor waarin het stroomkanaal niet aan één kant maar letterlijk aan alle kanten – boven, onder en opzij – wordt omarmd door de gate die het gedrag regelt. Dat levert schonere schakelingen op, minder lekstroom, en dus hogere prestaties met minder energieverbruik.
Dat is nog maar het begin. Na GAA volgt de forksheet-transistor, een variant waarin p- en n-transistoren, normaal gesproken naast elkaar, gescheiden worden door een extreem smalle wand, zodat ze dichter op elkaar kunnen worden geplaatst. Het resultaat? Hogere dichtheid, zonder prestatieverlies. Een soort stedelijke verdichting op nanoschaal.
En daarna? Dan komen we bij de complementary FET, oftewel CFET. Daarbij worden p- en n-transistoren niet meer naast, maar boven op elkaar gestapeld. Een complete omdraaiing van hoe chips tot nu toe zijn ontworpen. Dat is geen evolutie meer, dat is herscheppen. En dat vereist iets heel anders van de apparatuur die die structuren moet bouwen: perfect gelaagde materialen, zero foutmarge.
Nanosheet
Of het nu gaat om de precisie waarmee nanosheet-kanaaltjes worden bekleed in een gaa-structuur, of om het zorgvuldig groeien van afwisselende lagen silicium en germanium voor forksheet-opbouw, de ASMI’s tools zijn bij elke stap essentieel. Zonder hen geen werkende GAA, geen stapelbare CFET en geen Angstrom.
Toch zakte de koers van ASMI eerder dit jaar stevig in. Orders vertragen, cycli keren. Maar wie alleen naar het kwartaal kijkt, mist het decennium. De echte waarde van ASMI zit niet in dit jaar, maar in de zekerheid dat iedereen straks ALD nodig heeft. En dat bijna niemand het zo goed kan als zij.
Rob Koelmans, directeur MetaMicro Automatisering
