Asml Masktools, de Amerikaanse dochteronderneming van ASM Lithography, heeft een licentie-overeenkomst gesloten met het Taiwanese UMC.
Dit maakte het bedrijf gisteren bekend. Asml liet niet weten hoeveel de Taiwanese chipproducent betaalt om gebruik te mogen maken van de gepatenteerde ‘scattering bar technology’ van Masktools.
Asml Masktools verkocht vorige maand dezelfde technologie in licentie al aan IBM. Volgens een woordvoerder is met meer bedrijven gesprekken over licenties. Met de genoemde technologie zijn chips efficiënter te produceren. Volgens Asml leveren de licenties niet zozeer veel geld op, maar vooral een goede relatie met de klanten.
Masktools werd in juni vorig jaar overgenomen. De Amerikaanse dochter ontwerpt producten met opc-technologie. Met deze technologie kunnen chiptoeleveranciers zeer kleine onderdelen op een chip plaatsen, en is een ontwerp van een chip om te zetten naar een masker, een print van een chip. De ‘scattering bar’ is het middel om de opc-technologie toe te passen.
